Développement de résonateurs électromécaniques ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Développement de résonateurs électromécaniques en technologie Silicon On Nothing, à détection capacitive et amplifiée par transistor MOS, en vue d'une co-intégration permettant d'adresser une application de référence de temps
Author(s) :
Durand, Cédric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2009
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :