Titre :

Synthèse et caractérisation de silicium cristallin par croissance vapeur liquide solide (VLS) pour l'intégration en trois dimensions (3D) séquentielle de transistors MOS

Auteur(s) :

Lecestre, Aurélie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Date de publication :

2010

Langue :

Français

Audience :

Non spécifiée

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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