Micromachining SU-8 pivot structures using ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Micromachining SU-8 pivot structures using AZ photoresist as direct sacrificial layers for a large wing displacement
Author(s) :
Bao, X.Q. [Auteur]
Dargent, Thomas [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dargent, Thomas [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pages :
025005-1-13
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2010
ISSN :
0960-1317
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
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