Fabrication of 24-MHz-disk resonators with ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Title :
Fabrication of 24-MHz-disk resonators with silicon passive integration technology
Author(s) :
Sworowski, M. [Auteur]
Neuilly, F. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Summanwar, A. [Auteur]
Philippe, P. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Neuilly, F. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Summanwar, A. [Auteur]
Philippe, P. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
IEEE Electron Device Letters
Pages :
23-25
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2010
ISSN :
0741-3106
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :