Transition verticale coaxiale en technologie ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Transition verticale coaxiale en technologie Au/BCB pour les technologies d'intégration 3D en gamme millimétrique
Author(s) :
Crunelle, R. [Auteur]
Seok, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Fryziel, Michel [Auteur]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Cathelin, A. [Auteur]
Rolland, P.A. [Auteur]
Seok, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Fryziel, Michel [Auteur]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Cathelin, A. [Auteur]
Rolland, P.A. [Auteur]
Conference title :
16èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2009
Country :
France
Start date of the conference :
2009
Book title :
Actes des 16èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2009
Publisher :
_
Publication date :
2009
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :