Comparison of intrinsic residual stress ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Comparison of intrinsic residual stress models in metallic thin films
Author(s) :
Guisbiers, G. [Auteur]
Wautelet, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wautelet, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Scripta Materialia
Pages :
419-422
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2009
ISSN :
1359-6462
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
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