A simple method for measuring Si-Fin ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
A simple method for measuring Si-Fin sidewall roughness by AFM
Author(s) :
Tang, X.H. [Auteur]
Bayot, V. [Auteur]
Reckinger, N. [Auteur]
Flandre, D. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nysten, B. [Auteur]
Bayot, V. [Auteur]
Reckinger, N. [Auteur]
Flandre, D. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nysten, B. [Auteur]
Journal title :
IEEE Transactions on Nanotechnology
Pages :
611-616
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2009
ISSN :
1536-125X
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :