Fabrication et Fonctionnalisation de BioMEMS ...
Document type :
Thèse
Title :
Fabrication et Fonctionnalisation de BioMEMS par Plasma Froid pour l'Analyse de la Biocatalyse en Spectroscopie TeraHertz
English title :
Cold Plasma Fabrication and Functionalization of TeraHertz BioMEMS for Enzyme Reaction Analysis
Author(s) :
Abbas, Abdennour [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Procédés Biologiques, Génie Enzymatique et Microbien - EA1026 [ProBioGEM]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Procédés Biologiques, Génie Enzymatique et Microbien - EA1026 [ProBioGEM]
Thesis director(s) :
Pr. Bertrand Bocquet, Pr. Philippe Supiot, Pr. Didier Guillochon(bertrand.bocquet@iemn.univ-lille1.fr)
Defence date :
2010-02-27
Jury president :
Président du Jury:
- Prof. Alain CAPPY Directeur de l'IEMN
-Prof. Loïc BLUM Directeur de l'ICBMS
-Prof. Farzaneh AREFI-KHONSARI Directrice ED-310
et Responsable d'équipe au LGPPTS
Membres du Jury:
-Dr. Pascal COLPO Responsable de projets scientifiques et techniques au JRC-Italie
-Dr. Philippe LEVEQUE Chargé de Recherche CNRS à XLIM
Directeurs de thèse
- Prof. Didier GUILLOCHON
Responsable d'équipe au Laboratoire ProBioGEM
- Prof. Philippe SUPIOT
Directeur du laboratoire GéPIFRéM
- Prof. Bertrand BOCQUET
Responsable de l'équipe M2T-IEMN
Rapporteurs:
- Prof. Alain CAPPY Directeur de l'IEMN
-Prof. Loïc BLUM Directeur de l'ICBMS
-Prof. Farzaneh AREFI-KHONSARI Directrice ED-310
et Responsable d'équipe au LGPPTS
Membres du Jury:
-Dr. Pascal COLPO Responsable de projets scientifiques et techniques au JRC-Italie
-Dr. Philippe LEVEQUE Chargé de Recherche CNRS à XLIM
Directeurs de thèse
- Prof. Didier GUILLOCHON
Responsable d'équipe au Laboratoire ProBioGEM
- Prof. Philippe SUPIOT
Directeur du laboratoire GéPIFRéM
- Prof. Bertrand BOCQUET
Responsable de l'équipe M2T-IEMN
Rapporteurs:
Jury member(s) :
Président du Jury:
- Prof. Alain CAPPY Directeur de l'IEMN
-Prof. Loïc BLUM Directeur de l'ICBMS
-Prof. Farzaneh AREFI-KHONSARI Directrice ED-310
et Responsable d'équipe au LGPPTS
Membres du Jury:
-Dr. Pascal COLPO Responsable de projets scientifiques et techniques au JRC-Italie
-Dr. Philippe LEVEQUE Chargé de Recherche CNRS à XLIM
Directeurs de thèse
- Prof. Didier GUILLOCHON
Responsable d'équipe au Laboratoire ProBioGEM
- Prof. Philippe SUPIOT
Directeur du laboratoire GéPIFRéM
- Prof. Bertrand BOCQUET
Responsable de l'équipe M2T-IEMN
Rapporteurs:
- Prof. Alain CAPPY Directeur de l'IEMN
-Prof. Loïc BLUM Directeur de l'ICBMS
-Prof. Farzaneh AREFI-KHONSARI Directrice ED-310
et Responsable d'équipe au LGPPTS
Membres du Jury:
-Dr. Pascal COLPO Responsable de projets scientifiques et techniques au JRC-Italie
-Dr. Philippe LEVEQUE Chargé de Recherche CNRS à XLIM
Directeurs de thèse
- Prof. Didier GUILLOCHON
Responsable d'équipe au Laboratoire ProBioGEM
- Prof. Philippe SUPIOT
Directeur du laboratoire GéPIFRéM
- Prof. Bertrand BOCQUET
Responsable de l'équipe M2T-IEMN
Rapporteurs:
Accredited body :
Université de Lille1
Doctoral school :
Sciences de la Matière, du Rayonnement et de l'Environnement
Keyword(s) :
BioMEMS
Microfabrication
Microtechnologie
Plasma froid
Couches mionces
Spectroscopie TeraHertz
Fonctionnalisation de surface
polymérisation plasma
réaction enzymatique
Biointerfaces.
Microfabrication
Microtechnologie
Plasma froid
Couches mionces
Spectroscopie TeraHertz
Fonctionnalisation de surface
polymérisation plasma
réaction enzymatique
Biointerfaces.
English keyword(s) :
Microtechnology
Cold plasma
Thin films
TeraHertz spectroscopy
Surface functionalization
Plasma polymerization
Enzyme reaction
Biointerfaces
Cold plasma
Thin films
TeraHertz spectroscopy
Surface functionalization
Plasma polymerization
Enzyme reaction
Biointerfaces
HAL domain(s) :
Physique [physics]
Physique [physics]/Physique [physics]/Biophysique [physics.bio-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Chimie/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Génie des procédés
Physique [physics]/Physique [physics]/Biophysique [physics.bio-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Chimie/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Génie des procédés
French abstract :
Avec l'avènement des BioMEMS (Bio-MicroElectroMechanical Systems), ce sont toutes les pratiques médicales, biologiques, environnementales et agro-alimentaires qui entament une nouvelle ère. Les enjeux scientifique et ...
Show more >Avec l'avènement des BioMEMS (Bio-MicroElectroMechanical Systems), ce sont toutes les pratiques médicales, biologiques, environnementales et agro-alimentaires qui entament une nouvelle ère. Les enjeux scientifique et industriel se rejoignent dans la miniaturisation des systèmes de détection, l'amélioration de leurs sensibilités et la simplification de leurs procédés de fabrication. Cette thèse hautement interdisciplinaire s'inscrit dans le cadre de ces enjeux. Elle expose la fabrication, la bio-fonctionnalisation et l'application d'un BioMEMS pour l'analyse de réactions enzymatiques en temps réel et à l'échelle micrométrique. Deux choix stratégiques ont été adoptés pour ce travail: le premier concerne l'utilisation de la technologie des plasmas froids ou polymérisation plasma pour la fonctionnalisation de surface à travers le dépôt de films polymères d'allylamine. Ce dépôt a permis ultérieurement l'immobilisation covalente de la trypsine (enzyme modèle protéolytique) au sein du BioMEMS. Cette technologie a été également utilisée pour développer une méthode simple de microfabrication des circuits microfluidiques compatible avec une production à grande échelle. Le second choix concerne l'utilisation de ce bioMEMS autour d'une transduction TeraHertz (THz) mise au point au sein de l'équipe. La spectroscopie THz vise à détecter les événements moléculaires à l'échelle de la picoseconde, sans marqueur et d'une manière non-invasive, en sondant directement les liaisons chimiques de faible énergie. Au cours de ce travail, nous avons donc développé un procédé de fonctionnalisation de surfaces par des amines, optimisé une méthode de greffage des enzymes, et étudié l'activité de la trypsine immobilisée. Nous avons ensuite intégré ces étapes dans le procédé de microfabrication du BioMEMS. Les mesures réalisées dans le domaine sub-THz (0,06-0,11 THz) sur une réaction de biocatalyse confirment la faisabilité d'une telle approche comme méthode analytique en biologie. Les résultats des différentes études montrent également que le mariage des plasmas froids avec les méthodes lithographiques représente une voie efficace, rapide et très compétitive pour le transfert de la technologie des BioMEMS à l'échelle industrielle.Show less >
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English abstract : [en]
The applications of miniaturized devices are no longer limited to electronic industry. Today, a new kind of microsystems called BioMEMS (Bio-MicroElectroMechanical Systems) are spreading in different fields, including ...
Show more >The applications of miniaturized devices are no longer limited to electronic industry. Today, a new kind of microsystems called BioMEMS (Bio-MicroElectroMechanical Systems) are spreading in different fields, including biomedical, environmental and food industry applications. Recurring challenges are focusing on enabling processes for smaller, cost-effective, high-functionality devices, with more sensitivity and suitability for industrial scale development. This highly interdisciplinary thesis work attempts to provide new solutions to meet some of the needs mentioned above. It reports the fabrication, functionalization, and applications of a BioMEMS for enzyme reaction monitoring. First, we have developed a PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) process for the surface functionalization by plasma polymerized allylamine. Films with high amine density and enhanced stability in aqueous environment were obtained. The amine functions were then used for enzymes immobilization. The covalently bonded trypsin molecules were extensively characterized and kinetic parameters determined using several microscopic and spectroscopic methods. Finally, both optimized processes were applied to the biofunctionalization of a TeraHertz (THz)-based BioMEMS. THz spectroscopy is the only non-invasive analytic method able to monitor molecular events at the picosecond timescale by probing low binding energies directly. It is used here for sensing a biocatalysis reaction inside the bioMEMS microchannels. Sub-THz measurements (0.06-0.11 THz) showed that combining microfluidic microsystems technology with THz detection could be a promising alternative for label-free real-time detection of biological interactions at the microscale. Additionally, we have developed a new microchannel fabrication process using direct plasma polymerization of TMDS (TetraMethylDiSiloxane) on micropatterned surfaces. This achievement demonstrates that cold plasma processes could be used not only for functionalization purposes or surface treatment but for the 3D microfabrication as well. This highly reduces processing time and manual handling steps, which is of a great importance for further industrial scale production.Show less >
Show more >The applications of miniaturized devices are no longer limited to electronic industry. Today, a new kind of microsystems called BioMEMS (Bio-MicroElectroMechanical Systems) are spreading in different fields, including biomedical, environmental and food industry applications. Recurring challenges are focusing on enabling processes for smaller, cost-effective, high-functionality devices, with more sensitivity and suitability for industrial scale development. This highly interdisciplinary thesis work attempts to provide new solutions to meet some of the needs mentioned above. It reports the fabrication, functionalization, and applications of a BioMEMS for enzyme reaction monitoring. First, we have developed a PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) process for the surface functionalization by plasma polymerized allylamine. Films with high amine density and enhanced stability in aqueous environment were obtained. The amine functions were then used for enzymes immobilization. The covalently bonded trypsin molecules were extensively characterized and kinetic parameters determined using several microscopic and spectroscopic methods. Finally, both optimized processes were applied to the biofunctionalization of a TeraHertz (THz)-based BioMEMS. THz spectroscopy is the only non-invasive analytic method able to monitor molecular events at the picosecond timescale by probing low binding energies directly. It is used here for sensing a biocatalysis reaction inside the bioMEMS microchannels. Sub-THz measurements (0.06-0.11 THz) showed that combining microfluidic microsystems technology with THz detection could be a promising alternative for label-free real-time detection of biological interactions at the microscale. Additionally, we have developed a new microchannel fabrication process using direct plasma polymerization of TMDS (TetraMethylDiSiloxane) on micropatterned surfaces. This achievement demonstrates that cold plasma processes could be used not only for functionalization purposes or surface treatment but for the 3D microfabrication as well. This highly reduces processing time and manual handling steps, which is of a great importance for further industrial scale production.Show less >
Language :
Français
Source :
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