Determination of the d31 piezoelectric ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems
Author(s) :
Ayela, Cédric [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bergaud, Christian [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Pugnière, Martine [Auteur]
Institut de Recherche en Infectiologie de Montpellier [IRIM]
Nicu, Liviu [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bergaud, Christian [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Pugnière, Martine [Auteur]
Institut de Recherche en Infectiologie de Montpellier [IRIM]
Nicu, Liviu [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Conference title :
MRS fall meeting
City :
Boston
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2005-11-28
Book title :
MRS 2005 fall meeting
Publication date :
2005-11-28
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :