Résonateur électromécanique et procédé de ...
Type de document :
Brevet
Titre :
Résonateur électromécanique et procédé de fabrication d'un tel résonateur
Auteur(s) :
Monfray, S. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Skotnicki, T. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ancey, P. [Auteur]
Skotnicki, T. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2005-01-28
Numéro du brevet :
FR2857952 (A1)
Langue :
Français
Commentaire :
n° de priorité : FR20030009106 20030725 ; également publié en tant que : FR2857952 (B1) 2005-12-16 ; US2005199970 (A1) 2005-09-15 ; US7196451 (B2) 2007-03-27
Source :