Piezoelectrically-controlled microswitch
Type de document :
Brevet
Titre :
Piezoelectrically-controlled microswitch
Auteur(s) :
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bouche, G. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bouche, G. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Date de publication :
2006-01-05
Numéro du brevet :
WO2006000731 (A1)
Langue :
Anglais
Commentaire :
n° de priorité : FR20040051171 20040614 ; également publié en tant que : US2008283373 (A1) 2008-11-20 ; US7960900 (B2) 2011-06-14
Source :