Integrated single-crystal MEMS device
Type de document :
Brevet
Titre :
Integrated single-crystal MEMS device
Auteur(s) :
Sworowski, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chevrie, D. [Auteur]
Philippe, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chevrie, D. [Auteur]
Philippe, P. [Auteur]
Date de publication :
2008-01-03
Numéro du brevet :
WO2008001253 (A2)
Langue :
Anglais
Commentaire :
n° de priorité : EP20060116326 20060629 ; également publié en tant que : WO2008001253 (A3) 2008-04-10 ; EP2038207 (A2) 2009-03-25 ; CN101479185 (A) 2009-07-08 ; US2009278628 (A1) 2009-11-12 ; US7982558 (B2) 2011-07-19 ; CN101479185 (B) 2012-03-28
Source :