Réalisation de grille nitrure de longueur ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Réalisation de grille nitrure de longueur inférieure à 100nm pour des applications haute fréquence de HEMTs AlGaN/GaN
Author(s) :
Boulay, S. [Auteur]
Hoel, Virginie [Auteur]
Touati, S. [Auteur]
Delos, E. [Auteur]
Gaquiere, Christophe [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Poisson, M.A. [Auteur]
Delage, S. [Auteur]
Cordier, Y. [Auteur]
Hoel, Virginie [Auteur]
Touati, S. [Auteur]
Delos, E. [Auteur]
Gaquiere, Christophe [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Poisson, M.A. [Auteur]
Delage, S. [Auteur]
Cordier, Y. [Auteur]
Conference title :
15èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2007
Country :
France
Start date of the conference :
2007
Book title :
Actes des 15èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2007
Publisher :
LAAS, Toulouse, France
Publication date :
2007
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :