Mechanical cross-characterization of ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Mechanical cross-characterization of sputtered Inconel thin films for MEMS applications
Auteur(s) :
Fleury, G. [Auteur]
Malhaire, C. [Auteur]
Populaire, C. [Auteur]
Verdier, M. [Auteur]
Devos, Arnaud [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Charvet, P. [Auteur]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 2006 European Material Research Society Spring Meeting
Ville :
Nice
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL