A MEMS type cantilever structure for the ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
A MEMS type cantilever structure for the evaluation of d31, d33 and e31 piezoelectric coefficient
Author(s) :
Herdier, R. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupont, M. [Auteur]
Osmont, D. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupont, M. [Auteur]
Osmont, D. [Auteur]
Conference title :
Proceedings of the 16th International Symposium on the Application of Ferroelectrics, XVI ISAF 2007
City :
Nara
Country :
Japon
Start date of the conference :
2007
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :