A MEMS type cantilever structure for the ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
A MEMS type cantilever structure for the evaluation of d31, d33 and e31 piezoelectric coefficient
Auteur(s) :
Herdier, R. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupont, M. [Auteur]
Osmont, D. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupont, M. [Auteur]
Osmont, D. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 16th International Symposium on the Application of Ferroelectrics, XVI ISAF 2007
Ville :
Nara
Pays :
Japon
Date de début de la manifestation scientifique :
2007
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :