Tuning beam electromechanical resonators
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Tuning beam electromechanical resonators
Author(s) :
Casset, F. [Auteur]
Durand, J.O. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Aid, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Durand, J.O. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Aid, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Proceedings of the 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007
City :
Barcelona
Country :
Espagne
Start date of the conference :
2007
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :