Erbium silicide formation under ultra high vacuum

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Erbium silicide formation under ultra high vacuum
Auteur(s) :
Breil, N. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Morand, Y. [Auteur]
Carron, V. [Auteur]
Halimaoui, A. [Auteur]
Skotnicki, T. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 16th European Workshop on Materials for Advanced Metallization, MAM 2007
Ville :
Bruges
Pays :
Belgique
Date de début de la manifestation scientifique :
2007
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL