Metallic source/drain architecture : status ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Metallic source/drain architecture : status and prospects
Auteur(s) :
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Breil, N. [Auteur]
Ostling, M. [Auteur]
Hellström, P.E. [Auteur]
Reckinger, N. [Auteur]
Tang, Xing [Auteur]
Mantl, S. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
SINANO-ESSDERC Workshop
Ville :
Munich
Pays :
Allemagne
Date de début de la manifestation scientifique :
2007
Titre de l’ouvrage :
_
Date de publication :
2007
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL