Totally free-flexible membrane for low ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Totally free-flexible membrane for low voltage MEMS metal contact switch
Author(s) :
Segueni, K. [Auteur]
Le Garrec, L. [Auteur]
Rollier, A.S. [Auteur]
Robin, R. [Auteur]
Touati, S. [Auteur]
Kanciurzewsk, A. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, O. [Auteur]
Le Garrec, L. [Auteur]
Rollier, A.S. [Auteur]
Robin, R. [Auteur]
Touati, S. [Auteur]
Kanciurzewsk, A. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, O. [Auteur]
Conference title :
37th European Microwave Conference, EuMC 2007
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
2007
Book title :
Proceedings of the 37th European Microwave Conference, EuMC 2007
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2007
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :