Elaboration et caractérisations de films ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Elaboration et caractérisations de films ferroélectriques relaxeurs de PMN-PT : intégration sur silicium et applications MEMS
Author(s) :
Detalle, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2008
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :