Modelling of radiofrequency MEMS bulk ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Modelling of radiofrequency MEMS bulk acoustic wave resonators with Legendre polynomial method
Author(s) :
Raherison, A. [Auteur]
Ratolojanahary, F.E. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Elmaimouni, L. [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Second ASA-EAA Joint Conference, ACOUSTICS'08
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2008
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL