Low actuation voltage totally free flexible ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Low actuation voltage totally free flexible RF MEMS switch with antistiction system
Author(s) :
Touati, S. [Auteur]
Lorphelin, N. [Auteur]
Kanciurzewski, A. [Auteur]
Robin, R. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rollier, A.S. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Lorphelin, N. [Auteur]
Kanciurzewski, A. [Auteur]
Robin, R. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rollier, A.S. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Conference title :
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Country :
France
Start date of the conference :
2008
Book title :
Proceedings of the 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Publisher :
_
Publication date :
2008
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :
Files
- http://hal.archives-ouvertes.fr/docs/00/27/76/80/PDF/dtip08066.pdf
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- dtip08066.pdf
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