Low actuation voltage totally free flexible ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Low actuation voltage totally free flexible RF MEMS switch with antistiction system
Auteur(s) :
Touati, S. [Auteur]
Lorphelin, N. [Auteur]
Kanciurzewski, A. [Auteur]
Robin, R. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rollier, A.S. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Lorphelin, N. [Auteur]
Kanciurzewski, A. [Auteur]
Robin, R. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rollier, A.S. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2008
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Éditeur :
_
Date de publication :
2008
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
- http://hal.archives-ouvertes.fr/docs/00/27/76/80/PDF/dtip08066.pdf
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- dtip08066.pdf
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