Title :

Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films

Author(s) :

Blach-Legrand, Céline [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Saitzek, Sebastien [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Da Costa, Antonio [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Desfeux, Rachel [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Integrated Ferroelectrics

Pages :

230-240

Publisher :

Taylor & Francis

Publication date :

2008

ISSN :

1058-4587

HAL domain(s) :

Chimie/Matériaux

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL