Title :

Etching characteristics and absence of electrical properties damage of PZT thin films etched before crystallization

Author(s) :

Liang, R.H. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Sama, N. [Auteur]
Dong, X.L. [Auteur]
Wang, G.S. [Auteur]

Journal title :

MICROELECTRONIC ENGINEERING

Pages :

670-674

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2008

ISSN :

0167-9317

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL