Electronic scheme for multiplexed dynamic ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
Permalink :
Title :
Electronic scheme for multiplexed dynamic behavior excitation and detection of piezoelectric silicon-based micromembranes
Author(s) :
Ayela, Cédric [Auteur]
Alava, Thomas [Auteur]
Lagrange, Denis [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Ondarçuhu, Thierry [Auteur]
Greve, A. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Alava, Thomas [Auteur]
Lagrange, Denis [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Ondarçuhu, Thierry [Auteur]
Greve, A. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2008
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :
Submission date :
2021-07-27T19:50:45Z