Title :

Growth and structural characterization of cerium oxide thin films realized on Si(111) substrates by on-axis r.f. magnetron sputtering

Author(s) :

Ta, M.T. [Auteur]
Briand, D. [Auteur]
Guhel, Y. [Auteur]
Bernard, J. [Auteur]
Pesant, J.C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boudart, B. [Auteur]

Journal title :

Thin Solid Films

Pages :

450-452

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2008

ISSN :

0040-6090

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL