Silicon on nothing MEMS electromechanical ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Silicon on nothing MEMS electromechanical resonator
Author(s) :
Durand, C. [Auteur]
Casset, F. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Judong, F. [Auteur]
Talbot, A. [Auteur]
Quenouillere, R. [Auteur]
Renaud, D. [Auteur]
Borel, S. [Auteur]
Florin, B. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Casset, F. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Judong, F. [Auteur]
Talbot, A. [Auteur]
Quenouillere, R. [Auteur]
Renaud, D. [Auteur]
Borel, S. [Auteur]
Florin, B. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Microsystem Technologies
Pages :
1027-1033
Publisher :
Springer Verlag
Publication date :
2008
ISSN :
0946-7076
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
- http://arxiv.org/pdf/0802.3051
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