Conception, élaboration et caractérisation ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Conception, élaboration et caractérisation de dispositifs CMOS émergents : une nouvelle approche d'intégration de transistors multi-grilles de type FinFET
Author(s) :
Fruleux, F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2007
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :