Real-time in-situ flux monitoring in ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Title :
Real-time in-situ flux monitoring in molecular beam epitaxy by wavelength-modulated atomic absorption spectroscopy
Author(s) :
Vignaud, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Journal of Vacuum Science and Technology
Pages :
1398-1404
Publisher :
American Vacuum Society (AVS)
Publication date :
2007
ISSN :
0022-5355
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :