In situ deposition of sputtered PZT films: ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
In situ deposition of sputtered PZT films: control of the growth temperature by the sputtered lead flux
Author(s) :
Velu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Journal title :
Vacuum
Pages :
199-204
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2000
ISSN :
0042-207X
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :