Microsysteme : un état des lieux, enjeux ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Microsysteme : un état des lieux, enjeux et perspectives
Author(s) :
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Conference title :
48èmes Journées Nationales de l'Union des Physiciens
City :
Lille
Country :
France
Start date of the conference :
2000
Publication date :
2000
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :