Microsystèmes tridimensionnels auto-assemblés ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Microsystèmes tridimensionnels auto-assemblés : modélisation et caractérisation mécanique
Author(s) :
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Quevy, E. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Quevy, E. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Conference title :
Journée 'Couplage entre Mécanique et Electricité'
City :
Cachan
Country :
France
Start date of the conference :
2000
Publication date :
2000
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :