Etude de gravure sèche en vue de réaliser ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Etude de gravure sèche en vue de réaliser un recess de grille de HEMTs sur GaN
Author(s) :
Guhel, Y. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boudart, B. [Auteur]
Poisson, M.A. [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur] refId
Conference title :
8èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2001
City :
Aussois
Country :
France
Start date of the conference :
2001
Publication date :
2001
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL