Synthesis of hexagonal boron nitride thin ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Synthesis of hexagonal boron nitride thin films by a plasma assisted chemical vapour deposition method
Auteur(s) :
Thevenin, P. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bath, A. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bath, A. [Auteur]
Titre de la revue :
Journal de Physique IV Proceedings
Pagination :
803-810
Éditeur :
EDP Sciences
Date de publication :
2001
ISSN :
1155-4339
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :