Titre :

Stiction-controlled locking system for three-dimensional self-assembling microstructures : theory and experimental validation

Auteur(s) :

Agache, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Quévy, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001

Ville :

Cannes

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2001-04-25

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 4408

Éditeur :

SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA

Date de publication :

2001

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Stiction
SDA
self-assembly
locking system
modeling

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

The novelty of our study lies in the first controlled use of the phenomenon of stiction to lock three-dimensional self- assembled polysilicon microstructures. The stiction refers to the permanent adhesion of the microstructures ...
Lire la suite >The novelty of our study lies in the first controlled use of the phenomenon of stiction to lock three-dimensional self- assembled polysilicon microstructures. The stiction refers to the permanent adhesion of the microstructures to adjacent surfaces. It can occur either during the final stage of the micromachining process, that is to say the releasing of the microstructural material, or after the packaging of the device, due to overrange input signals or electromechanical instability. As a result, we often regard stiction as a major failure issue in the MEMS field of research. This paper reports both the theory of our stiction-controlled locking system operation mode and the validation of our original concept through the stiction-locking of a 3-D self-assembled deviceLire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL