3D self-assembled micro-actuators for ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
3D self-assembled micro-actuators for optical applications
Auteur(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2001
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Transducers '01/Eurosensors XV
Éditeur :
Springer-Verlag, Berlin, Germany
Date de publication :
2001
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :