Design method for micro-electro-mechanical ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Design method for micro-electro-mechanical band pass filters
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Start date of the conference :
2001
Book title :
Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 4408
Publisher :
SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA
Publication date :
2001
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :