Determination of the electrical properties ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Determination of the electrical properties of 2.5nm thick silicon-based dielectric films : thermally grown SiOx
Auteur(s) :
Pic, N. [Auteur]
Glachant, A. [Auteur]
Nitsche, S. [Auteur]
Hoarau, J.Y. [Auteur]
Goguenheim, D. [Auteur]
Vuillaume, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Sibai, A. [Auteur]
Autran, Jean-Luc [Auteur]
Glachant, A. [Auteur]
Nitsche, S. [Auteur]
Hoarau, J.Y. [Auteur]
Goguenheim, D. [Auteur]
Vuillaume, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Sibai, A. [Auteur]
Autran, Jean-Luc [Auteur]
Titre de la revue :
Journal of Non-Crystalline Solids
Pagination :
69-77
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2001
ISSN :
0022-3093
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :