Title :

Electron-beam-induced reactivation of Si dopants in hydrogenated and deuterated 2D AlGaAs heterostructures. Application to the fabrication of nanostructures

Author(s) :

Kurowski, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Silvestre, S. [Auteur]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Constant, E. [Auteur]
Barbe, M. [Auteur]
Chevallier, Jacques [Auteur]
Constant, M. [Auteur]

Start date of the conference :

2002

Book title :

Materials Research Society Symposium Proceedings, 719

Publisher :

Materials Research Society, Warrendale, PA, USA

Publication date :

2002

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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