Title :

Large stroke actuation of continuous membrane for adaptive optics by 3D self-assembled microplates

Author(s) :

Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bigotte, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Journal title :

Sensors and Actuators A: Physical

Pages :

183-195

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2002

ISSN :

0924-4247

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL