Reliability of polysilicon microstructures ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches
Auteur(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Titre de la revue :
Microelectronics Reliability
Pagination :
1795-1800
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2002
ISSN :
0026-2714
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :