Conception de résonateurs micromécaniques ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Conference title :
Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2002
Publication date :
2002
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :