Conception de résonateurs micromécaniques ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées
Auteur(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes
Ville :
Paris
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2002
Date de publication :
2002
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :