Design of clamped-clamped beam resonator ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur] refId
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Combi, C. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Start date of the conference :
2002
Book title :
Proceedings of the 32nd European Solid-State Device Research Conference, ESSDERC 2002
Publisher :
University of Bologna, Bologna, Italy
Publication date :
2002
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL