High quality factors of silicon membranes ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
High quality factors of silicon membranes with piezoelectric actuation and detection scheme for biosensing purpose in liquid media
Author(s) :
Ayela, Cédric [Auteur]
Leichle, Thierry [Auteur]
Bergaud, C. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Pugniere, M. [Auteur]
Leichle, Thierry [Auteur]
Bergaud, C. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Pugniere, M. [Auteur]
Start date of the conference :
2006
Book title :
Proceedings of the 2006 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :