Electron-beam-induced reactivation of Si ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Electron-beam-induced reactivation of Si dopants in hydrogenated 2D AlGaAs heterostructures : a possible new route of fabricating III-V nanostructures
Author(s) :
Kurowski, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Constant, E. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Constant, E. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Conference title :
7th International Workshop on Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors
City :
Lille
Country :
France
Start date of the conference :
2003
Publication date :
2003
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :