Reactive ion beam etching of PZT thin films
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Reactive ion beam etching of PZT thin films
Auteur(s) :
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Titre de la revue :
Ferroelectrics
Pagination :
253-263
Éditeur :
Taylor & Francis: STM, Behavioural Science and Public Health Titles
Date de publication :
2003
ISSN :
0015-0193
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :