Fabrication and characterization of a SU-8 ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Fabrication and characterization of a SU-8 gripper actuated by SMA thin film
Auteur(s) :
Roch, I. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bidaud, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bidaud, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Titre de la revue :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pagination :
330-336
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2003
ISSN :
0960-1317
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :